Sicheres Handling
Containment-Glovebox mit Sichtfenstern, Door- & Bottle-Status und Not-Aus.
Produkte — Bulk-Chemie-Distribution & -Versorgung
bCDS — bulk-Chemikalienversorgungssystem
4Tex Bulk-Chemie-Distributions- und Versorgungssystem für Halbleiter-Flüssigkeiten — kontrollierte, sichere und kontaminationsfreie Bereitstellung von Prozesschemikalien, individuell konfiguriert für Ihre nasschemischen Prozesse.
Systembeschreibung
Sichere Chemikalienversorgung mit Containment
Das bCDS stellt Prozesschemikalien kontrolliert und kontaminationsfrei bereit. Die integrierte Containment-Glovebox ermöglicht die sichere Handhabung; das Bedienpanel steuert Fill-, Circulate-, Purge-, Drain- und Mix-Funktionen mit durchgängiger Druck- und Sicherheitsüberwachung.
Das System ist in verschiedenen Konfigurationen verfügbar — von ein- und mehrkanaligen Ausführungen bis zur Umfüllstation. Jede Anlage wird individuell auf Ihre Prozessanforderungen ausgelegt und angeboten; die Konfigurationen werden nicht als Standardvarianten geführt.
Fill · Circulate · Purge · Drain · Mix
Containment-Glovebox
Not-Aus & Überwachung
Vorteile & Anwendungsbereiche
Ausgelegt für nasschemische Halbleiterprozesse
Kontrollierte Bereitstellung
Überwachter Fill-/Drain-Pumpendruck und Float-Switch für reproduzierbare Abläufe.
Individuell konfiguriert
Kanalzahl, Handling und Layout werden auf Ihren Prozess und Ihre Chemikalien abgestimmt.
Point of Use
POU Box — Verteilung am Point of Use
Die POU Box hält das Prozessmedium bis zum Point of Use durchgehend in Bewegung. Wird gerade nichts abgerufen, schaltet sie automatisch auf periodische Rezirkulation — das Medium bleibt sofort verfügbar.
Als eigenständige Verteileinheit vor Ort besteht sie aus demselben FR-PP-Werkstoff (FM4910) wie die bCDS Serie und wird über ein eigenes lokales Bedienpanel überwacht und bedient. Sie bietet bis zu 10 Verteilstränge, davon sind aktuell 5 aktiv.
FR-PP (FM4910)
Lokales Bedienpanel
Bis zu 10 Verteilstränge
Häufige Fragen
Fragen zum bCDS
Wird die Chemikalienversorgung beim Behälterwechsel unterbrochen?
Bei der Duo-Ausführung nicht: Während ein Behälter aktiv versorgt, kann der andere in einer geführten HMI-Sequenz gewechselt werden. Der Wechsel erfolgt mit doppelter Absicherung — manuelles Handventil plus automatisches vorgeschaltetes Absperrventil — und die Steckverbinder sind mechanisch kodiert, sodass sie nur am richtigen Behälteranschluss einrasten.
Welche Medienanschlüsse werden für die Installation benötigt?
Benötigt werden eine 230-V-AC-Stromversorgung (einphasig, 16 A), Druckluft (CDA, 5–7 bar), Stickstoff (N₂, 0,5–2 bar), eine DI-Wasserversorgung sowie ein Abluftanschluss. Das System ist als reine Frontzugriffslösung ausgelegt — seitlich oder rückseitig ist kein Servicezugang nötig, was den Platzbedarf bei der Integration reduziert.
Welche Sicherheitssysteme sind im bCDS verbaut?
Zwei unabhängige Sicherheitskreise: ein Basic Safety System (Not-Aus-Taster an der Power Distribution Box und am Bedienpanel, Abluftsensor) und ein Tool Safety System (Schwimmerschalter, Türkontakte, Flaschen-in-Position-Sensor). Zusätzlich erkennt ein Leck-Sensor austretende Flüssigkeit automatisch und aktiviert die Drain-Pumpe, um eine Ansammlung zu verhindern.
Was bedeuten die Farben der Signalsäule?
Rot: Störung/Alarm, sofortige Reaktion erforderlich. Blau: Service/Wartung erforderlich. Gelb: Warnung, System weiter betriebsbereit, sollte aber geprüft werden. Grün: Normalbetrieb. Mischfarben zeigen Übergangs- oder Sonderzustände wie Anlauf, Standby oder Wartungsmodus an.
Welche Garantie gibt 4Tex auf das bCDS?
4Tex gewährt 6 Monate Garantie auf Material- und Verarbeitungsfehler, gerechnet ab Rechnungsdatum. Innerhalb dieser Frist erfolgt nach Meldung und Prüfung des Mangels nach Wahl von 4Tex Ersatzlieferung oder Reparatur; Versand und Installation der Ersatzteile gehen zulasten des Käufers.
Welche bCDS-Konfiguration passt zu Ihrem Prozess?
Beschreiben Sie uns Ihre Anforderungen — wir legen das System individuell aus und erstellen Ihnen ein Angebot.
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