Schnelle thermische Reaktion
Präzise Temperaturregelung im Sekundenbereich.
Produkte — Point-of-Use Heating
Chemical Inline Heater für die Halbleiterindustrie
Compact Hyper-Dynamic Chemical Heater: schnelle, präzise und kontaminationsfreie Erwärmung ultra-reiner Prozessfluide — entwickelt für nasschemische Halbleiterprozesse.
Produktbeschreibung
Kontaminationsfreie Erwärmung am Point of Use
Der I²R UHP Inline Heater erwärmt ultra-reine Prozessfluide direkt am Verbrauchsort. Die proprietäre 4Tex I²R-Heiztechnologie überträgt Wärme hocheffizient und ohne metallischen Kontakt an das Fluid — bei nur 60 ml internem Volumen.
Alle benetzten Teile bestehen aus hochreinem PTFE, PFA und dem proprietären I²R-Heizelement. Das System ist kompatibel mit Ultra Pure Water, Säuren, Laugen und Lösungsmitteln — für maximale chemische Kompatibilität und höchste Prozessreinheit in nasschemischen Prozessen.
UL499 · CE
4 kW · 400–480 VAC
60 ml
bis 90 °C
Technische Vorteile
Sechs Gründe für den I²R Heater
Ultra-High-Purity Design
Metallfreie benetzte Oberflächen eliminieren Kontaminationsrisiken.
Optimierte Heat-Transfer-Geometrie
Narrow-Channel-Design für maximale Heizeffizienz.
Geringes internes Volumen
Nur 60 ml — minimale Chemikalienmenge, schnelle Prozessreaktion.
Exzellente chemische Kompatibilität
Geeignet für Ultra Pure Water, Säuren, Basen und aggressive Prozesschemikalien.
Proprietäre I²R-Technologie
Hocheffizienter Wärmeübertrag bei metallfreiem Fluidkontakt.
Spezifikationen
Technische Daten
| Standards | UL499, CE |
|---|---|
| Leistung | 4 kW |
| Spannung | 400–480 VAC, 50/60 Hz, 3-phasig |
| Externe Absicherung | 6 A Slow Blow |
| Benetzte Oberflächen | Proprietäres I²R-Heizelement, PTFE, PFA |
| Prozess-Auslasstemperatur | bis 90 °C (je nach Betriebsbedingungen) |
| Umgebungstemperatur | 10 °C bis 45 °C |
|---|---|
| Prozessdurchfluss | 0,5 – 10 l/min |
| Prozessdruck (25 / 90 °C) | max. 0,3 MPa (3 bar) |
| Purge-Gas | 10 – 20 l/min, max. 50 kPa, 15–25 °C |
| Kühlwasser | 0,5 – 3 l/min, max. 0,4 MPa, 15–25 °C |
| Gewicht (ohne Kabel) | 11,9 kg |
System-Integration
I²R Heater Module & Controller
Die Kombination aus I²R Heater und der erforderlichen Sicherheits- und Steuerungstechnik bildet das „I²R Heater Module“ — eine vorkonfektionierte Baugruppe für die nahtlose Integration in Kundenprozesse.
Integrierte Instrumentierung
Prozess-, Kühl- und Purge-Durchflussmesser sowie Ein-, Auslass- und Übertemperatursensoren.
PLC & HMI
Präzise Closed-Loop-Temperaturregelung, Prozessvisualisierung und Safety-Supervision.
Referenz aus der Praxis
Im Feld bewährt
Der I²R Heater ist nicht nur ein Datenblatt-Produkt: Das hier gezeigte Gerät ist in einer realen SEZ-Anlage verbaut und dort im laufenden Prozessbetrieb im Einsatz.
Häufige Fragen
Fragen zum I²R Heater
Was, wenn die gewünschte Point-of-Use-Temperatur nicht in einem einzigen Durchgang erreicht wird?
Bei bestimmten Fluiden, Durchflussraten oder Zielprozesstemperaturen reicht ein einzelner Durchgang durch den Heater nicht aus. In diesem Fall wird ein Multi-Pass-Ansatz mit vorgewärmtem Bad angewendet: Die Badtemperatur wird zunächst von Raumtemperatur auf eine sogenannte Priming-Temperatur angehoben, sodass die gewünschte Point-of-Use-Temperatur anschließend mit einem einzelnen Durchgang durch den Heater erreicht werden kann.
Welche Medien braucht der Heater zusätzlich zur Stromversorgung?
Neben dem Prozessfluid selbst benötigt der Heater eine Purge-Gas-Versorgung (10–20 l/min, max. 50 kPa, 15–25 °C) sowie eine Kühlwasserversorgung (0,5–3 l/min, max. 0,4 MPa, 15–25 °C). Beide Anschlüsse sollten bei der Installationsplanung von Anfang an berücksichtigt werden.
Welche Zertifizierungen besitzt der I²R Heater?
Der Heater ist nach UL499 und CE zertifiziert und trägt das TÜV-Zeichen (type tested, production monitored) — die Bauart wurde also nicht nur einmalig geprüft, sondern die laufende Fertigung wird kontinuierlich überwacht.
Kann der I²R Heater auch Gase erwärmen, oder nur Flüssigkeiten?
Der Heater ist für flüssige Prozessfluide ausgelegt — Ultra Pure Water, Säuren, Laugen und Lösungsmittel. Der separate Purge-Gas-Anschluss dient ausschließlich der internen Spülung des Geräts und ist kein Anschluss zur Erwärmung eines gasförmigen Prozessmediums.
Ist die externe Absicherung im Lieferumfang enthalten?
Nein. Die Spezifikation weist die 6-A-Slow-Blow-Sicherung explizit als „extern erforderlich“ aus — sie muss bauseitig in der Zuleitung vorgesehen werden, sie ist nicht im Heater integriert.
Interesse am I²R Heater?
Fordern Sie das vollständige Datenblatt an oder senden Sie uns direkt Ihre Anfrage — unser Engineering-Team meldet sich zeitnah.