4Tex cleanroom team assembling a chemical delivery system

Präzision. Reinheit. Verlässlichkeit.

Engineered Wet-Etch-Lösungen
für präzise Halbleiter­fertigung

4Tex entwickelt Ultra-High-Purity Fluid-Management- und Point-of-Use-Heizsysteme für die Halbleiterfertigung. Metallfreier Fluidkontakt, Temperaturregelung im Sekundenbereich, maximale chemische Kompatibilität.

Über 4Tex

Ingenieurskompetenz für höchste Reinheitsanforderungen

4Tex mit Sitz in Villach, Kärnten, verbindet drei Jahrzehnte Erfahrung in der Halbleiterindustrie mit eigener Entwicklung und Fertigung. Unser Fokus: die kontaminationsfreie Erwärmung und präzise Handhabung ultra-reiner Prozessfluide.

Vom proprietären I²R Inline Heater über modulare Chemikalienversorgungssysteme bis zu hochpräzisen Temperatursensoren liefern wir Komponenten und Systeme, die sich nahtlos in bestehende OEM- und Fab-Umgebungen integrieren lassen.

Mehr über das Unternehmen
4Tex control cabinet with Beckhoff HMI in the manufacturing environment

Unsere Kernkompetenzen

Technische Lösungen. Höchste Reinheit.

Präzise Temperaturregelung

Proprietäre 4Tex I²R-Technologie mit metallfreiem Fluidkontakt und optimierter Heat-Transfer-Geometrie. Thermische Reaktion im Sekundenbereich.

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Sichere Chemikalienversorgung

Kontrollierte, sichere und kontaminationsfreie Bereitstellung von Prozesschemikalien — die bCDS-Serie wird individuell für Ihre nasschemischen Prozesse konfiguriert.

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Driftfreie Temperaturmessung

PT100-Sensoren aus hochreinem Fluorpolymer für die zuverlässige, driftfreie Temperaturüberwachung von Ultra Pure Water, hochreinen Chemikalien und Prozessgasen.

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Service & Support

Schneller technischer Support, Wartung und Lifecycle-Services für einen zuverlässigen Anlagenbetrieb.

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Refurbishment

Professionelle Aufarbeitung von SEZ-Systemen und Komponenten unter kontrollierten Reinraumbedingungen.

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Advanced Engineering Solutions

Kundenspezifische Engineering-Lösungen für komplexe nasschemische Prozesse, Systemintegration und Prozessoptimierung.

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ISO & Qualität

Zertifizierte Prozesse nach UL499 · CE.

Erfahrenes Team

30 Jahre Erfahrung in der Halbleitertechnik.

Präzision

Patentierte I²R-Technologie für höchste Genauigkeit.

Kundenfokus

Individuelle Lösungen für Ihre Anforderungen.

Anwendungsbereiche

Vom Wet Processing bis zur Prozessüberwachung

4Tex Systeme sichern präzise temperierte, kontaminationsfreie Prozesschemie in jedem Schritt der nasschemischen Halbleiterfertigung — von der Wafer-Fertigung bis zur Überwachung der Prozesschemie.

Wet-chemistry process station for wafer treatment in the cleanroom

Wet Processing

Präzise Temperaturführung für Ätz-, Reinigungs- und Nasschemieprozesse.

Semiconductor Solutions

Kontaminationsfreie Prozesschemie für Wafer-Fertigung und Front-End-Prozesse.

Ultra-high-purity fluidics with PFA tubing and process pumps

Ultra Pure Fluids

Handhabung und Erwärmung von Ultra Pure Water, Säuren, Laugen und Lösungsmitteln.

Chemical Delivery

Kontrollierte Bereitstellung und Dosierung aggressiver Prozesschemikalien.

Contamination-Free Processing

Metallfreie Fluidführung eliminiert Partikel- und Metallkontamination.

Point-of-use heating system in a semiconductor process tool

Point of Use Heating

Erwärmung direkt am Verbrauchsort — minimales Totvolumen, schnelle Reaktion.

Wafer Manufacturing

Stabile, wiederholbare Prozessbedingungen für die Waferbearbeitung.

Thermal & Fluid Control

Integrierte Temperatur- und Durchflussüberwachung für stabile Prozesse.

Alle Anwendungen
Precisely wired 4Tex control cabinet with safety and control systems

Warum 4Tex

Ein Partner für OEM-Integration und Fab-Betrieb

  • Eigene Entwicklung & Fertigung

    10 Jahre Entwicklung und 10 Patente hinter unseren Technologien.

  • Fertigung & Support in Österreich

    Eigener Produktionsstandort in Villach — kurze Reaktionszeiten bei Service und Ersatzteilen.

  • 30 Jahre Prozesserfahrung

    Fundiertes Know-how aus drei Jahrzehnten Zusammenarbeit mit Anlagenbauern und Fab-Betreibern.

Zusammenarbeit

Sprechen wir über Ihre Prozessanforderungen

Ob Einzelkomponente oder integriertes System — unser Engineering-Team unterstützt Sie von der Auslegung bis zur Inbetriebnahme.

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