Präzise Temperaturregelung
Proprietäre 4Tex I²R-Technologie mit metallfreiem Fluidkontakt und optimierter Heat-Transfer-Geometrie. Thermische Reaktion im Sekundenbereich.
Mehr erfahrenGeschäftsfelder
Service und Support für Halbleiter-Prozessanlagen — von der Instandhaltung bis zum Upgrade bestehender Systeme.
Eigene Produkte für das kontaminationsfreie Erwärmen und Handhaben ultra-reiner Prozessfluide.
Auslegung, Integration und Weiterentwicklung — kundenspezifisch und in enger Abstimmung mit OEMs und Fabs.
Über 4Tex
4Tex mit Sitz in Villach, Kärnten, verbindet drei Jahrzehnte Erfahrung in der Halbleiterindustrie mit eigener Entwicklung und Fertigung. Unser Fokus: die kontaminationsfreie Erwärmung und präzise Handhabung ultra-reiner Prozessfluide.
Vom proprietären I²R Inline Heater über modulare Chemikalienversorgungssysteme bis zu hochpräzisen Temperatursensoren liefern wir Komponenten und Systeme, die sich nahtlos in bestehende OEM- und Fab-Umgebungen integrieren lassen.
Mehr über das Unternehmen
Unsere Kernkompetenzen
Proprietäre 4Tex I²R-Technologie mit metallfreiem Fluidkontakt und optimierter Heat-Transfer-Geometrie. Thermische Reaktion im Sekundenbereich.
Mehr erfahrenKontrollierte, sichere und kontaminationsfreie Bereitstellung von Prozesschemikalien — die bCDS-Serie wird individuell für Ihre nasschemischen Prozesse konfiguriert.
Mehr erfahrenPT100-Sensoren aus hochreinem Fluorpolymer für die zuverlässige, driftfreie Temperaturüberwachung von Ultra Pure Water, hochreinen Chemikalien und Prozessgasen.
Mehr erfahrenSchneller technischer Support, Wartung und Lifecycle-Services für einen zuverlässigen Anlagenbetrieb.
Mehr erfahrenProfessionelle Aufarbeitung von SEZ-Systemen und Komponenten unter kontrollierten Reinraumbedingungen.
Mehr erfahrenKundenspezifische Engineering-Lösungen für komplexe nasschemische Prozesse, Systemintegration und Prozessoptimierung.
Mehr erfahrenZertifizierte Prozesse nach UL499 · CE.
30 Jahre Erfahrung in der Halbleitertechnik.
Patentierte I²R-Technologie für höchste Genauigkeit.
Individuelle Lösungen für Ihre Anforderungen.
Anwendungsbereiche
4Tex Systeme sichern präzise temperierte, kontaminationsfreie Prozesschemie in jedem Schritt der nasschemischen Halbleiterfertigung — von der Wafer-Fertigung bis zur Überwachung der Prozesschemie.
Präzise Temperaturführung für Ätz-, Reinigungs- und Nasschemieprozesse.
Kontaminationsfreie Prozesschemie für Wafer-Fertigung und Front-End-Prozesse.
Handhabung und Erwärmung von Ultra Pure Water, Säuren, Laugen und Lösungsmitteln.
Kontrollierte Bereitstellung und Dosierung aggressiver Prozesschemikalien.
Metallfreie Fluidführung eliminiert Partikel- und Metallkontamination.
Erwärmung direkt am Verbrauchsort — minimales Totvolumen, schnelle Reaktion.
Stabile, wiederholbare Prozessbedingungen für die Waferbearbeitung.
Integrierte Temperatur- und Durchflussüberwachung für stabile Prozesse.
Warum 4Tex
10 Jahre Entwicklung und 10 Patente hinter unseren Technologien.
Eigener Produktionsstandort in Villach — kurze Reaktionszeiten bei Service und Ersatzteilen.
Fundiertes Know-how aus drei Jahrzehnten Zusammenarbeit mit Anlagenbauern und Fab-Betreibern.
Zusammenarbeit
Ob Einzelkomponente oder integriertes System — unser Engineering-Team unterstützt Sie von der Auslegung bis zur Inbetriebnahme.