Produkte
Prozessausrüstung und Komponenten für die Halbleiterindustrie
Vom proprietären I²R Inline Heater über modulare Chemikalienversorgung bis zu hochpräzisen Temperatursensoren — entwickelt und gefertigt für die Halbleiterindustrie.
01 — Point-of-Use Heating
I²R UHP Inline Heater
Compact Hyper-Dynamic Chemical Heater für die schnelle, präzise und kontaminationsfreie Erwärmung ultra-reiner Prozessfluide — auf Basis der proprietären 4Tex I²R-Heiztechnologie.
Metallfreier Fluidkontakt. Thermische Reaktion im Sekundenbereich.
02 — Temperature Measurement
Chemical Liquid Temperatursensoren
PT100-Temperatursensoren aus hochreinem Fluorpolymer (PTFE) für Ultra Pure Water, hochreine Chemikalien und Prozessgase — mit patentierter, dead-volume-freier Dichtung.
Driftfreie Messung ultra-reiner Fluide nach DIN EN 60751.
03 — Chemical Delivery
bCDS — bulk-Chemikalienversorgungssystem
Das bCDS stellt Prozesschemikalien kontrolliert, sicher und kontaminationsfrei bereit — mit integrierter Containment-Glovebox und durchgängiger Sicherheitsüberwachung.
Individuelle Konfigurationen — ausgelegt auf Ihre Prozessanforderungen.
04 — Concentration Metrology
SemiChem APM200 Titrator
Präzise Konzentrationsmessung von Prozesschemikalien in der Halbleiterfertigung. 4Tex ist europäischer Distributor des SemiChem APM200 von Entegris.
Stabile Prozesschemie durch kontinuierliche Konzentrationsüberwachung.
Technologie-Kompetenz
Wofür unsere Produkte entwickelt sind
Nicht sicher, welche Konfiguration passt?
Unser Engineering-Team hilft bei der Auslegung — von der Einzelkomponente bis zum integrierten System.
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