Semiconductor Solutions
Kontaminationsfreie Prozesschemie für Front-End-Fertigungsschritte.
Anwendungen
Prozesschemie unter Kontrolle — in allen Prozessschritten
4Tex Systeme kommen dort zum Einsatz, wo ultra-reine Fluide präzise temperiert, sicher bereitgestellt und kontaminationsfrei gehandhabt werden müssen.
Wet Processing
Präzise temperierte Nasschemie
Für Ätz-, Reinigungs- und Nasschemieprozesse liefert der I²R Heater exakt geregelte Prozesstemperaturen — mit schneller Reaktion und ohne Kontaminationseintrag durch metallische Oberflächen.
Zum I²R Heater
Ultra Pure Fluids
Ultra Pure Water, Säuren, Laugen und Lösungsmittel
Die metallfreie Konstruktion aus PTFE und PFA macht die 4Tex Systeme kompatibel mit ultra-reinem Wasser sowie mit Säuren, Basen und aggressiven Prozesschemikalien — bei erhaltener Reinheit.
Zu den Chemical Liquid SensorenPoint of Use Heating
Erwärmung direkt am Verbrauchsort
Durch das geringe interne Volumen von 60 ml und die schnelle thermische Reaktion eignet sich der I²R Heater ideal für die Erwärmung unmittelbar am Prozesspunkt — mit minimalem Totvolumen und minimaler Chemikalienmenge.
Zum I²R HeaterWeitere Bereiche
Von der Wafer-Fertigung bis zur Prozessüberwachung
4Tex Systeme sichern präzise temperierte, kontaminationsfreie Prozesschemie über den gesamten nasschemischen Prozessablauf — von der Wafer-Fertigung bis zur Überwachung der Prozesschemie.
Chemical Delivery
Sichere, kontrollierte Bereitstellung und Dosierung von Prozesschemikalien über die bCDS-Reihe.
Zum bCDSWafer Manufacturing
Stabile, wiederholbare Prozessbedingungen für die Waferbearbeitung.
Contamination-Free Processing
Metallfreie Fluidführung eliminiert Partikel- und Metallkontamination.
Thermal & Fluid Control
Integrierte Temperatur- und Durchflussüberwachung für stabile Prozesse.
Zu den Chemical Liquid SensorenKonzentrationsmessung
Präzise, reproduzierbare Konzentrationsmessung von Prozesschemikalien für stabile nasschemische Prozesse.
Zum SemiChem APM200Ihre Anwendung ist nicht dabei?
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