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Dienstleistungen
Weltweiter Service für Wet-Etch- und nasschemische Halbleiterprozesse
Technischer Service und Engineering-Support für Anlagen und Systeme im Bereich nasschemischer Halbleiterprozesse — von der Wartung bestehender Wet-Process-Anlagen bis zur kundenspezifischen Systemlösung, weltweit und direkt beim Kunden.
Global Service & Support
Weltweiter Service für Wet-Etch- und nasschemische Prozessanlagen
4Tex unterstützt Halbleiterfertigungen weltweit bei Anlagen und Systemen für nasschemische Prozesse — mit professionellem Anlagenservice, technischer Betreuung und Produktionsunterstützung direkt beim Kunden vor Ort, auch unter Reinraumbedingungen.
Wet-Etch- & nasschemischer Anlagenservice
Wartung, Inspektion und technische Betreuung von Wet-Etch- und Wet-Process-Anlagen — von der Wet Bench und dem Spin Processor bis zum Chemikalienversorgungssystem.
Installation & Inbetriebnahme
Montage und Installation unter Reinraumbedingungen — präzise, sauber und dokumentiert.
Optimierung & Fehleranalyse
Systematische Fehleranalyse, Umbauten und Optimierung nasschemischer Prozesse und bestehender Systeme.
Produktionsunterstützung vor Ort
Erfahrene Techniker unterstützen Ihre Fertigung weltweit — auch bei hochreinen Chemikalien- und Fluidprozessen.
Refurbishment
Refurbishment von SEZ-Produkten
4TEX bietet professionelle Refurbishment-Dienstleistungen für SEZ Spin-Etcher-Systeme, einschließlich SP101, SP201, SP102, SP203, SP304, SP223 und SP323. Unsere erfahrenen Spezialisten für die Halbleiterindustrie bereiten Komponenten und Anlagen unter kontrollierten Reinraumbedingungen professionell auf. Alle erforderlichen Baugruppen können in unserer Reinrauminfrastruktur fachgerecht geprüft, überholt und montiert werden.
Advanced Engineering Solutions
Individuelle technische Lösungen für die Semiconductor-Industrie
Wo Standardsysteme an ihre Grenzen stoßen, entwickelt 4Tex maßgeschneiderte Lösungen für nasschemische Halbleiterprozesse — vom technischen Konzept über die Prozessoptimierung bis zur einsatzbereiten Anlagenlösung.
Kundenspezifische Entwicklungen
Technische Konzepte und Systeme, exakt auf Ihre Prozessanforderungen ausgelegt.
Prozessoptimierung
Analyse und Weiterentwicklung bestehender Prozesse für höhere Stabilität und Ausbeute.
Entwicklung spezieller Anlagenlösungen
Von der Einzelbaugruppe bis zum integrierten System — Engineering für Semiconductor-Anwendungen.
Beispiel einer kundenspezifischen Lösung
mCDS-90-SL Touch — mobiles Chemikalienversorgungssystem
Als kundenspezifische Engineering-Lösung für die CMP-Prozessintegration entwickelt, versorgt das mCDS-90-SL Touch CMP-Anlagen kontrolliert und sicher mit Slurry-Chemikalien — mobil, mit integriertem Rührwerk, Pumpe und Touchscreen-Bedienung.
Mobiler 90-Liter-Tank
Fahrbarer Tank mit 90 Liter Fassungsvermögen, integriertem IKA-Rührwerk und Füllstandsanzeige für Slurry-Chemikalien.
Drehzahlregelbare Pumpe
Integrierte Pumpe mit stufenlos einstellbarer Drehzahl von 1.000 bis 8.000 U/min zur Versorgung von CMP-Anlagen.
Touchscreen-Bedienung & Host-Anbindung
Bedienung über Touchscreen mit Main-, Diagnosis- und Settings-Ansicht; zyklische Übertragung von Temperatur, Füllstand und Systemstatus an das Host-System.
Zwei unabhängige Sicherheitskreise
Sicherheitskreise für Not-Aus-Überwachung und Türkontakt sowie mehrere Safety Interlocks für den sicheren Betrieb.
Automatischer Füllstandsschutz
Low-Level- und Alarm-Level-Sensoren stoppen Pumpe und Process Valve automatisch außerhalb des sicheren Füllbereichs.
Geschäftsfelder
Drei Kompetenzfelder, ein Anspruch
Anlagenservice
Service und Support für Halbleiter-Prozessanlagen — von der Instandhaltung bis zum Upgrade bestehender Systeme.
UHP-Fluid-Produkte
Eigene Produkte für das kontaminationsfreie Erwärmen und Handhaben ultra-reiner Prozessfluide.
Engineering & F&E
Auslegung, Integration und Weiterentwicklung — kundenspezifisch und in enger Abstimmung mit OEMs und Fabs.
Service, der Ihre Fertigung am Laufen hält
Sprechen Sie mit unserem Team über Anlagenservice, Support vor Ort oder Ihre individuelle Engineering-Anforderung.