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Dienstleistungen

Weltweiter Service für Wet-Etch- und nasschemische Halbleiter­prozesse

Technischer Service und Engineering-Support für Anlagen und Systeme im Bereich nasschemischer Halbleiterprozesse — von der Wartung bestehender Wet-Process-Anlagen bis zur kundenspezifischen Systemlösung, weltweit und direkt beim Kunden.

Global Service & Support

Weltweiter Service für Wet-Etch- und nasschemische Prozessanlagen

4Tex unterstützt Halbleiterfertigungen weltweit bei Anlagen und Systemen für nasschemische Prozesse — mit professionellem Anlagenservice, technischer Betreuung und Produktionsunterstützung direkt beim Kunden vor Ort, auch unter Reinraumbedingungen.

  • Wet-Etch- & nasschemischer Anlagenservice

    Wartung, Inspektion und technische Betreuung von Wet-Etch- und Wet-Process-Anlagen — von der Wet Bench und dem Spin Processor bis zum Chemikalienversorgungssystem.

  • Installation & Inbetriebnahme

    Montage und Installation unter Reinraumbedingungen — präzise, sauber und dokumentiert.

  • Optimierung & Fehleranalyse

    Systematische Fehleranalyse, Umbauten und Optimierung nasschemischer Prozesse und bestehender Systeme.

  • Produktionsunterstützung vor Ort

    Erfahrene Techniker unterstützen Ihre Fertigung weltweit — auch bei hochreinen Chemikalien- und Fluidprozessen.

4Tex service technician working on a wet bench in the cleanroom
Refurbishment of SEZ spin processor systems at 4Tex — view 1

Refurbishment

Refurbishment von SEZ-Produkten

4TEX bietet professionelle Refurbishment-Dienstleistungen für SEZ Spin-Etcher-Systeme, einschließlich SP101, SP201, SP102, SP203, SP304, SP223 und SP323. Unsere erfahrenen Spezialisten für die Halbleiterindustrie bereiten Komponenten und Anlagen unter kontrollierten Reinraumbedingungen professionell auf. Alle erforderlichen Baugruppen können in unserer Reinrauminfrastruktur fachgerecht geprüft, überholt und montiert werden.

Advanced Engineering Solutions

Individuelle technische Lösungen für die Semiconductor-Industrie

Wo Standardsysteme an ihre Grenzen stoßen, entwickelt 4Tex maßgeschneiderte Lösungen für nasschemische Halbleiterprozesse — vom technischen Konzept über die Prozessoptimierung bis zur einsatzbereiten Anlagenlösung.

  • Kundenspezifische Entwicklungen

    Technische Konzepte und Systeme, exakt auf Ihre Prozessanforderungen ausgelegt.

  • Prozessoptimierung

    Analyse und Weiterentwicklung bestehender Prozesse für höhere Stabilität und Ausbeute.

  • Entwicklung spezieller Anlagenlösungen

    Von der Einzelbaugruppe bis zum integrierten System — Engineering für Semiconductor-Anwendungen.

Precision-manufactured 4Tex system technology in detail

Beispiel einer kundenspezifischen Lösung

mCDS-90-SL Touch — mobiles Chemikalienversorgungssystem

Als kundenspezifische Engineering-Lösung für die CMP-Prozessintegration entwickelt, versorgt das mCDS-90-SL Touch CMP-Anlagen kontrolliert und sicher mit Slurry-Chemikalien — mobil, mit integriertem Rührwerk, Pumpe und Touchscreen-Bedienung.

  • Mobiler 90-Liter-Tank

    Fahrbarer Tank mit 90 Liter Fassungsvermögen, integriertem IKA-Rührwerk und Füllstandsanzeige für Slurry-Chemikalien.

  • Drehzahlregelbare Pumpe

    Integrierte Pumpe mit stufenlos einstellbarer Drehzahl von 1.000 bis 8.000 U/min zur Versorgung von CMP-Anlagen.

  • Touchscreen-Bedienung & Host-Anbindung

    Bedienung über Touchscreen mit Main-, Diagnosis- und Settings-Ansicht; zyklische Übertragung von Temperatur, Füllstand und Systemstatus an das Host-System.

  • Zwei unabhängige Sicherheitskreise

    Sicherheitskreise für Not-Aus-Überwachung und Türkontakt sowie mehrere Safety Interlocks für den sicheren Betrieb.

  • Automatischer Füllstandsschutz

    Low-Level- und Alarm-Level-Sensoren stoppen Pumpe und Process Valve automatisch außerhalb des sicheren Füllbereichs.

Kundenspezifische Lösung besprechen
4Tex mCDS-90-SL Touch — mobile slurry delivery cart with touchscreen control panel

Service, der Ihre Fertigung am Laufen hält

Sprechen Sie mit unserem Team über Anlagenservice, Support vor Ort oder Ihre individuelle Engineering-Anforderung.

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